扩散掺杂，扩散区要比掩膜窗口尺寸，这是效应引起的，它直接影响超大规模集成电路的集成度。A:大，横向扩散 B:小，横向扩散 C:大，场助扩散 D:大，氧化增强答案: 大，横向扩散

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扩散掺杂，扩散区要比掩膜窗口尺寸 ，这是 效应引起的，它直接影响超大规模集成电路的集成度。A:大，横向扩散 B:小，横向扩散 C:大，场助扩散 D:大，氧化增强 答案: 大，横向扩散